الزامات اتاق‌های تمیز در صنعت نیمه‌رسانا

2025-12-12

الالزامات اتاق‌های تمیز در صنعت نیمه‌هادی به شرح زیر است:
1. الزامات تمیزی بالا
تولید نیمه‌هادی به یک محیط تمیز بسیار سخت‌گیرانه نیاز دارد. تمیزی هوا در اتاق‌های تمیز بسته به الزامات فرآیندهای مختلف نیمه‌هادی متفاوت است، که عموماً استانداردهای کلاس 1 (برابر یا کمتر از 1 ذره 0.1 میکرونی در هر فوت مکعب) تا کلاس 100 (برابر یا کمتر از 100 ذره 0.5 میکرونی در هر فوت مکعب) را برآورده می‌کند.
2. کنترل دقیق دما و رطوبت
مواد نیمه‌هادی نسبت به دما و رطوبت بسیار حساس هستند. اتاق تمیز باید به شدت در دمای 20-25 درجه سانتی‌گراد کنترل شود، با محدوده رطوبت نسبی 40-60٪ و نوسانات نباید از ± 1 درجه سانتی‌گراد و ± 5٪ RH تجاوز کند.
3. منبع تغذیه و توزیع برق قابل اعتماد و پایدار
اتاق تمیز به یک سیستم منبع تغذیه و توزیع برق اختصاصی نیاز دارد تا منبع تغذیه پایدار و افزونه را فراهم کند و از عملکرد عادی و بدون وقفه تجهیزات فرآیند اطمینان حاصل شود. در عین حال، داشتن عملکردهای محافظت و فیلتر برای جلوگیری از تداخل برق ضروری است.
4. جریان منطقی هوای بدون گرد و غبار
اتاق‌های تمیز باید به سیستم‌های فیلتراسیون و گردش هوای بدون گرد و غبار مجهز شوند تا توزیع جریان هوای منطقی و بدون گوشه کور تضمین شود، به طوری که هوای تمیز بتواند به طور کامل به هر گوشه برسد. سرعت جریان هوا و فشار هوا نیز باید به شدت کنترل شود تا از بازگشت هوای خارجی یا ایجاد اختلال جلوگیری شود.
5. طراحی لرزه‌گیر کامل
با توجه به الزامات پایداری فرآیندهای نیمه‌هادی، اتاق‌های تمیز معمولاً باید اقدامات مقاوم در برابر ضربه را اتخاذ کنند تا تأثیر لرزش‌های خارجی بر فرآیند را کاهش دهند. فونداسیون باید به اندازه کافی پایدار باشد و به دستگاه‌های بافر مجهز شود.
6. انتخاب مواد بدون گرد و غبار و بدون آلودگی
مواد سطحی اتاق تمیز باید بدون گرد و غبار و بدون آلودگی باشد و ذرات تولید نکند. فولاد ضد زنگ، صفحات آلومینیومی، شیشه سکوریت و سایر مواد معمولاً استفاده می‌شوند. یک پرده هوا باید در ورودی نصب شود تا از ورود گرد و غبار جلوگیری شود.

در باره

محصولات

واحد فیلتر فن FFU

هود جریان آرام

دوش هوای اتاق تمیز

تجهیزات اتاق تمیز

صندلی تمیز لامینری

اتاق تمیز مدولار

با ما تماس بگیرید

Shenzhen Zhong Jian South Environment Co., Ltd.

zjnfsale@zjnf.cn

86--13392805835

طبقه نهم، بلوک C، ساختمان کول پد، تقاطع خیابان کیوان و جاده باوشن، ناحیه شمالی نانشان گاوکسین، جامعه سونگپینگشان، خیابان شیلی، شهر شنژن، گوانگدونگ، چین

لینکدین یوتیوب فیس بوک توییتر اینستاگرام

چین کیفیت خوب واحد فیلتر فن FFU عرضه کننده. حقوق چاپ 2026 iairpurifier.com . تمامی حقوق محفوظ است.

واحد فیلتر فن FFU

هود جریان آرام

دوش هوای اتاق تمیز

تجهیزات اتاق تمیز

صندلی تمیز لامینری

اتاق تمیز مدولار

اتاق تمیز

جعبه پاس Cleanroom

فیلتر HEPA اتاق تمیز

فیلتر هوا هپا

فیلتر هپا صنعتی

V فیلتر هوا

فیلتر کیسه جیبی

فیلتر هوا

مواد فیلتر هوا

خروجی هوا

لوازم اتاق تمیز

ماشین لباسشویی کفش

قفسه کفش اتاق پاک

استریلایزر بخار با فشار بالا

الزامات اتاق‌های تمیز در صنعت نیمه‌رسانا

واحد فیلتر فن FFU

هود جریان آرام

دوش هوای اتاق تمیز

تجهیزات اتاق تمیز

صندلی تمیز لامینری

اتاق تمیز مدولار